铝青铜球阀氦质谱检漏仪
2018-11-27


氦质谱检漏仪 Helium Mass SpectrometerLeakDetector

氦质谱检漏仪就是用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;此外,氦系惰性气体,中山铁王三通全流量法兰球阀,不腐化设备,中山铁王美标铸造法兰闸阀,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调解到仅对氦起反响的事情状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反响,从而可知漏孔地址及漏气量巨细。

氦质谱检漏仪凡是由真空阀系统、质谱室及丈量电路构成, 此中核心为质谱室。质谱室又由离子源、分析器、收集器三部分构成。其一般的道理是将进入质谱室中的混合气体进行电离, 形成具有必然能量的离子, 这些离子由于质荷比的差别, 在分析器中将按差别轨迹运动从而相互分隔, 仅使氦离子在收集极上收集并最终放大显示。因此, 氦质谱检漏仪在素质上讲可以当作是氦气原子的计数器。其无论输出显示的是电压值还是漏率值, 虽然表示形式不一样, 但这些显示值必将都与进入质谱室中的氦气原子的摩尔数是线性正比的。在一般的氦质谱检漏仪中, 被检件接在检漏仪的高真空侧( 即检漏仪的质谱室) , 当被检件漏气或出气较大时, 质谱室中的压力将赶过仪器的最高事情压力, 此时检漏仪就无法进行事情了, 因此, 实际工程中往往给与逆流检漏仪。逆流检漏仪是操作高真空泵Vacuum Pump的压缩比与被抽气体质量有关的道理来事情的。气体的质量越小, 压缩比也就越小, 因此逆扩散的示漏气体的分子数就越多, 这些逆扩散的分子进入质谱室,最终形成了检漏仪的输出读数。此刻工程实际中所使用的检漏仪几乎全是逆流检漏仪。

氦质谱背压检漏的特点

美国试验与质料学会标准ASTM E 493 及我国航天行业标准QJ 3212 又增加了预充氦( by prefilling )措置惩罚惩罚法, 并统称为氦质谱仪背压检漏要领( Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside Out Testing Mode) 。该要领显示的丈量漏率不只与漏孔的标准漏率有关, 而且与内腔容积、压氦压力、加压时间、候检时间有关, 因此, 必需研究确定丈量漏率与等效标准漏率的关系。

氦质谱背压检漏的特点之一是无法获得由丈量漏率求等效标准漏率的解析表达式, 为此, 国际电工委员会标准IEC 68-2-17 及我国国家标准GB/T2423.23 引入了严酷品级的观点, 当压氦压力、加压时间、候检时间均连结不乱时, 要求的严酷品级与单位体积的丈量漏率间存在明确的对应关系。而我国国家军用标准GJB 128A、GJB 360A 及GJB 548B则给与固定法和灵活法, 按内腔容积分档, 固定规则定一、两种压氦压力及对应的加压时间、候检时间以及丈量漏率的拒收极限, 如果实际丈量漏率大于该极限值则产品被拒收; 灵活规则定等效标准漏率的拒收规范值, 并按照灵活选择的压氦压力、加压时间、候检时间, 由公式计算出丈量漏率的极限值, 如果实际丈量漏率大于该极限值则产品被拒收。

氦质谱背压检漏的特点之二在内腔容积、压氦压力、加压时间、候检时间都不异的情况下, 具有不异丈量漏率的两个密闭器件的等效标准漏率可能分歧非常大, 即等效标准漏率具有双值。对付压氦背压法而言, 此中可能存在的大漏孔多数已超过分子流范畴, 因此可用粗检法分辩。粗检法分辩应在氦质谱背压检漏之后进行, 以防粗检过程中将小漏堵死。对付预充氦背压法而言, 由于候检时间往往相当长, 此中的大漏孔很可能仍在分子流范畴, 粗检法已不能分辩。